【投资股权众筹】中国光刻机之殇:入华 32 年,ASML 已出货 700 多台,但 EUV 被美国盯死,1.2 亿美元也难买

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荷兰向中国出口 EUV 光刻机,拜登会赞成吗?

       中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机。
详细来说,就是 EUV (极紫外光源)光刻机。

现在,天下上能够制造 EUV 光刻机的,只有一家公司,它就是荷兰光刻机巨头 ASML(中文名为阿斯麦)。现实上,作为一家外企,ASML 进入到中国市场已经跨越 30 年,可以说是渊源深挚。然则,由于商业之外的缘故原由,ASML 无法向中国市场出口 EUV 光刻机,只管它自己实在是异常愿意的。背后的始作俑者,照样美国。

1、ASML 与中国市场的深挚渊源

中国大陆市场,一直是 ASML 在全球局限内最主要的市场之一。以 2020 年为例,ASML 在第二季度总共卖出了 61 台光刻机(包罗新装备和二手装备),在第三季度卖出了 60 台——这其中,有跨越 24 台是卖给了中国大陆。【投资股权众筹】中国光刻机之殇:入华 32 年,ASML 已出货 700 多台,但 EUV 被美国盯死,1.2 亿美元也难买

根据 ASML 全球副总裁、中国区总裁的说法,2020 年第二、第三季度,公司发往中国大区的光刻机台数跨越了全球总台数的 20%。固然,这些出售到中国大陆的光刻机,不包罗 EUV 装备。对此,沈波示意:

ASML 必须要在遵遵执法律例的条件下举行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的,我们对全球客户都一视同仁,只要是我们能够提供的手艺和装备,我们都市全力支持。

         可以看到,若是清扫外界因素的滋扰,ASML 自身是很有诚意与中国互助的。领会到,ASML 确立于 1984 年;那时,市面上尚有多家生产光刻机的公司,而 ASML 位居最后一名。不外,仅用 2 年时间,ASML 就研制出了型号为 PAS2500 的晶圆步进式光刻机(Stepper),它可以生产 VLSI 一代的芯片,这使 ASML 在市场上站稳了脚跟,并拥有了一定的名气。值得一提的是,早在 1988 年,ASML 在进军亚洲之时,就向中国发售了最早一台装备。经由三十多年的深耕,ASML 在中国大陆已经出售 700 多台光刻机装机,涵盖了 ASML 公司的(EUV 装备之外)的绝大部门类型产物。不仅云云,在 2000 年天津确立分公司的基础上,ASML 现在在中国设有 12 个办公室,11 个仓储物流中央,2 处手艺开发中央(深圳和北京,做盘算光刻、量测等开发),拥有 1000 多名员工。此外,ASML 还在中国专门建设了 1 个培训中央,培育光刻行业人才。正如沈波所言,在遵遵执法律例的同时,ASML 全力支持客户和中国集成电路行业的生长,在每个阶段 ASML 和中国集成电路业界都有着很好的互助。他还示意,ASML 在中国的整体状态越来越好,未来服务会更多样化,对中国的投入也会越来越大。

2、EUV 光刻机未能出口中国的基本缘故原由,是美国

作为全球最大的光刻机企业,ASML 独自享受着 EUV 光刻机手艺带来的商业生长便利,但同时也不得不遭受大国竞争和冲突下的繁重政治枷锁。一个典型的案例,就是 EUV 光刻机向中国出口受阻。EUV 光刻机是光刻机在生长历程中的第五代产物,由于接纳了极紫外线,它的最小工业节点到了 22nm-7nm,可以说是天下上最先进的光刻机装备——而这种装备,只有 ASML 能造出来。在 EUV 手艺的研发层面,ASML 也履历了艰辛跋涉的历程。现实上 ASML 从 1999 年就最先 EUV 光刻机的研发事情,原设计在 2004 年推生产物,但直到 2010 年才研发出第一台 EUV 原型机,2016 年才实现下游客户供货——甚至到 2019 年,第一款 7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。不外,在美国主导的《瓦森纳协定》(Wassenaar Arrangement)的影响下,这一高端装备对中国的出口受到严酷限制——一直到 2018 年才发生转机。

2018 年 4 月,向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机,价值 1.2 亿美元,预计 2019 年年头交货——厥后此事被报道后,ASML 回应称,对包罗中国客户在内的全球客户都一视同仁,且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。那时,荷兰政府简直向 ASML 发放了出口证。然而,天有意外风云,这场生意从一最先就受到阻碍。凭证知情人士的说法,美国立刻盯上了这笔生意——接下来的几个月里,美方官员至少四次与荷兰官员开会,讨论能否直接封杀这笔生意。但雪上加霜的是,2018 年 12 月 1 日,ASML 元件供应商 Prodrive 的一家工厂又发生重大火灾,ASML 那时公然示意,2019 年年头的出货预计将遭递延。与此同时,美国政府继续就这笔生意举行背后运作。2019 年元旦前后,美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔生意的 “平安风险”;随后在 2019 年 6 月,美国国务卿蓬佩奥接见荷兰,再次向荷兰政府施加压力,要求住手这笔生意。值得一提的是,2019 年 6 月 30 日,荷兰政府向 ASML 揭晓的出口允许证到期。2019 年 7 月,荷兰宰衡 Mark Rutte 接见美国,美国白宫高级官员向他展示了一份情报讲述,内容是所谓 “中国获得光刻机的可能结果”。据路透社报道,这次接见后不久,荷兰政府决议不再续签这份允许证——往后 ASML 未泛起在荷兰外交部数据库的续署名单上。往后,关于 EUV 光刻机向中国出口,ASML 的官方说法一直是:公司仍在守候新允许证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报道,荷兰外交部也在 2020 年在 1 月 15 日示意:

在决议是否签发出口允许证时,荷兰政府要权衡经济和平安利益。

由此,ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的设计,就此弃捐。

3、小结

2020 年,随着美国对中国半导体领域的打压,国人对于光刻机的关注度越来越高,而 ASML 也因此受到关注。但能否向中国出售 EUV 光刻机,简直非 ASML 所能左右。可以确定的是,对于向中国市场出售光刻机一事,ASML 一直是异常起劲的。凭证 ASML 中国区总裁沈波的最新说法,ASML 已经向荷兰政府提交出口 EUV 光刻机的申请,现在还在守候荷兰政府的出口允许证。而荷兰政府,则还在守候美国政府的态度。固然,现在美国政府的态度也存在不确定性,特朗普眼下一定无心思量此事,生怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。思索题:

若是拜登就任美国总统,他会阻挠荷兰向中国出口 EUV 光刻机吗?